真空ポンプを正しく選択する際に何に注意すべきですか?

マイクロ真空ポンプの作動圧力は、真空装置の限界真空および作動圧力の要件を満たす必要があります。 たとえば、真空乾燥プロセスには 10mmHg の作業真空が必要ですが、最終的な真空ポンプの真空度は少なくとも 2mmHg、できれば 1mmHg に達するように選択する必要があります。 通常、選択したポンプの到達真空度は、真空装置の作動真空度よりも半分から 1 桁高くなります。 真空ポンプの作動点を正しく選択してください。 各ポンプには、次のような特定の作動圧力範囲があります。 2 BV シリーズの水封式真空ポンプの作動圧力範囲は 760mmHg ～ 25mmHg (絶対圧) です。 このような広い圧力範囲では、ポンプの排気量は圧力に応じて変化します(詳細な変化についてはポンプの性能曲線を参照してください)。安定した作動圧力範囲は760~60mmHgです。 したがって、ポンプの動作点はこの範囲内で選択する必要がありますが、25 ～ 30mmHg で長時間動作させることはできません。

真空ポンプは、真空装置のプロセスで発生するガスをすべて排気できるものでなければなりません。 真空ポンプを正しく組み合わせてください。 真空ポンプは選択的な排気を行うため、ポンプの選択によっては排気の要件を満たせない場合があり、排気の要件を満たすために複数のポンプを組み合わせて相互に補完する必要があります。 たとえば、チタンサブリメーションポンプは水素のポンピング速度が高いですが、ヘリウムのポンピングはできません。また、三極スパッタリングイオンポンプ（または双極性非対称カソードスパッタリングイオンポンプ）はアルゴンに対して一定のポンピング速度を持ち、この 2 つを組み合わせると、真空装置の真空度を向上させます。 さらに、一部の真空ポンプは大気圧では動作できないため、事前に真空にする必要があります。 一部の真空ポンプは出口圧力が大気圧を下回っており、フロントポンプが必要なため、すべてのポンプを一緒に使用する必要があります。 真空装置によって引き起こされる油汚染に対する要件。 装置が厳密にオイルを必要としない場合は、水封ポンプ、モレキュラーシーブ吸着ポンプ、スパッタリングイオンポンプ、低温ポンプなど、あらゆる種類のオイルフリーポンプを選択する必要があります。要件が厳密でない場合は、次のようなことができます。オイルポンプを選択するだけでなく、冷却トラップ、バリア、オイルトラップなどの油汚染防止対策もクリーンな真空の要件を満たすことができます。

排気ガス、蒸気が凝縮していないガス、塵埃、腐食性物質などの組成を把握してください。 真空ポンプを選定する際には、排気ガスの組成を把握し、排気ガスに応じたポンプを選定する必要があります。 ガス中に蒸気、粉塵、腐食性ガスが含まれる場合には、ポンプ入口配管に凝縮器、集塵器等の付帯設備を設置してください。 真空ポンプは環境にどのような影響を与えるのでしょうか。 汚染を嫌う環境の場合にはオイルフリー真空ポンプを選択したり、油や蒸気を屋外に排出することも可能です。 真空ポンプの作業時に発生する振動がプロセスや環境に影響を与えるかどうか。 プロセス上許容できない場合は、振動のないポンプまたは振動対策を施したポンプを選定してください。 真空ポンプの価格、運用および保守コスト。

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